1.使用高介電常數(shù)的材料制造電極，提高加工精度。 2.改善冷卻條件，采用水冷或雙極冷卻。 3.降低氣源露點(diǎn)，提高氣源潔凈度。 4.提高臭氧電源的驅(qū)動(dòng)頻率，降低電耗。 5.采用智能控制，并對(duì)運(yùn)行工況再線監(jiān)測(cè)。
