為什么半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的工業(yè)需要風(fēng)淋室?
半導(dǎo)體材料提純是發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品品質(zhì)量的一個突出問題。加工環(huán)境的潔凈度由多方面的因素決定，因素之一進入潔凈的人員，工作人員凈化設(shè)備為風(fēng)淋室，風(fēng)淋室是經(jīng)高效過濾器過濾的潔凈空氣從噴嘴噴出，吹落工作服上的灰塵，含塵空氣經(jīng)粗效過濾器被風(fēng)機吸入，加壓后流過高效過濾器再從噴嘴噴出，如此循環(huán)。風(fēng)淋室都裝有定時裝置，工作人員按壓啟動按鈕后，即可進入QS風(fēng)淋室并關(guān)門吹淋，30~60s后風(fēng)淋自動停止。這時，工作人員即可進入潔凈室。
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