為什微電子工業(yè)要使用風(fēng)淋室
微電子工業(yè)是當前對潔凈室要求最高的行業(yè)。大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路(LSI\VLSI)的發(fā)展,對微塵控制要求越來越高。風(fēng)淋室特點
1、采用更適合潔凈室原理的圓弧轉(zhuǎn)角,
2、風(fēng)淋室凈化級別:靜態(tài)千級;
3、內(nèi)底板為砂光不銹鋼板;
4、風(fēng)淋室有隔板高效過濾器,過濾效率為:99.99%0.5um,確保凈化級別;
5、風(fēng)淋室全自動紅外感應(yīng)吹淋,進口AUTOnise紅外感應(yīng)器,正泰中間繼電器,軟鍵觸按式時間繼電器,LED 顯示及設(shè)置吹淋時間,范圍在0-99s可調(diào),吹淋時風(fēng)淋室雙門自動鎖閉;平常只能打開其中一扇門,由入口進入潔凈區(qū)時紅外線感應(yīng)后自動吹淋,由潔凈區(qū)出去時經(jīng)過風(fēng)淋室不吹淋以節(jié)省能源;
6、風(fēng)淋室配12個多角度可調(diào)全不銹鋼噴嘴,左右雙側(cè)吹淋;外轉(zhuǎn)子大風(fēng)量低噪風(fēng)淋室風(fēng)機,面風(fēng)速大于25m/s,確保能讓風(fēng)吹到貨物上達到18m/s,符合國家標準;
7、風(fēng)淋室采用液晶時間顯示,風(fēng)淋時間為0~99S可調(diào),并顯示已風(fēng)淋時間;
8、采用獨特的空氣清新功能系統(tǒng),對長期封閉的風(fēng)淋室&風(fēng)淋室通道內(nèi)產(chǎn)生的異味進行切底的消除
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