電子工業(yè)潔凈無(wú)塵室的概述
1)潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪聲振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。
2)不論外在的空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特征
3)潔凈室技術(shù)包括空氣凈化風(fēng)淋、建筑裝飾、玷污物發(fā)散源的控制,以及消除靜電和防微振。
4)潔凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度,以及溫度、濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造