電子工業(yè)空氣潔凈度等級(jí)
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等 級(jí) |
每立方米(每升)空氣中
≥0.5微米塵粒數(shù) |
每立方米(每升)空氣中
≥5微米塵粒數(shù) |
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100 級(jí) |
≤35×100(3.5) |
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1000 級(jí) |
≤35×1000(35) |
≤250(0.25) |
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10000 級(jí) |
≤35×10000(350) |
≤2500(2.5) |
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100000 級(jí) |
≤35×100000(3500) |
≤25000(25) |
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