什么是AMC?
危害生產(chǎn)工藝并因此導(dǎo)致成品率降低的空氣中的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)，稱為“分子級污染物”（或氣載分子污染物），英文簡稱“AMC”。 AMC包括空氣中的多種有害氣體和金屬離子。國際半導(dǎo)體技術(shù)與材料協(xié)會（SEMI）根據(jù)AMC的化學(xué)性質(zhì)以及對生產(chǎn)工藝的危害，對其分為四類：酸性(MA)﹑ 堿性(MB), 可凝性(MC)和摻雜性(MD)。（1）酸性AMC ：能夠接受電子（受主）的化學(xué)腐蝕性氣相物質(zhì)。如氟化氫（HF），二氧化硫（SO2）等。（2）堿性AMC：能夠施于電子（施主）的化學(xué)腐蝕性氣相物質(zhì)。如氨氣（NH3），六甲基二硅醚（HMDSO）等。（3）可凝性AMC：常溫常壓下，能夠在干凈表面（如硅片）凝結(jié)的氣相物質(zhì)。如硅烷，二丁基甲酚（BHT）,大分子碳?xì)浠衔锏?。?）摻雜性AMC：能夠改變半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性的化學(xué)物質(zhì)。如硼（B）,磷(P)等。HEPA高效過濾器和ULPA超高效過濾器
HEPA 是英語high efficiency particle air filter的縮寫形式，ULPA是英語 ultra low penetration air filter的縮寫形式。
根據(jù)EN1822 分級，HEPA分為五個等級，即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14；ULPA分為三個等級，即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA過濾器是潔凈室的心臟，所以要保證潔凈室的潔凈度，要對過濾器進(jìn)行逐臺掃描檢測，下表是不同等級過濾器對效率的最低要求。例如H13對MPPS的最低效率為99.95%，一般記作：效率 99.95% at MPPS風(fēng)淋 , 這與“效率 99風(fēng)淋室 .shengjie-jh.cn">風(fēng)淋門.95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同，因為0.12 或0.3 不一定是該過濾器的最易穿透粒徑，對于HEPA 高效過濾器和ULPA超高效過濾器，一定要知道該過濾器的“最易穿透粒徑MPPS”是多少。
