我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)將持續(xù)發(fā)展，國(guó)內(nèi)企業(yè)必須做好依靠精品工程獲取利潤(rùn)的準(zhǔn)備。由碧海永樂(lè)設(shè)計(jì)并建造的清溢TFT-LCD掩模版項(xiàng)目就是最好的例證。該項(xiàng)目潔凈室空氣潔凈度等級(jí)為1級(jí)(美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209，相當(dāng)于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3級(jí))和10級(jí)(美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209，相當(dāng)于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO4級(jí))，且面積達(dá)到800平方米。該工程不僅潔凈度要求較高，同時(shí)對(duì)溫度、相對(duì)濕度、防微振、防靜電等相關(guān)參數(shù)的要求也遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出一般設(shè)計(jì)要求，對(duì)設(shè)計(jì)人員的設(shè)計(jì)水平是一個(gè)嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。
為了滿足高級(jí)別潔凈度的要求，在設(shè)計(jì)、建造過(guò)程中，碧海永樂(lè)堅(jiān)持科技領(lǐng)先、創(chuàng)新工藝設(shè)計(jì)。針對(duì)空氣過(guò)濾，采用了空氣凈化系統(tǒng)6級(jí)過(guò)濾流程——— 初效、中效、化學(xué)、中效、高效、超高效(終端)，實(shí)踐證明行之有效。在ISO3級(jí)和ISO 4級(jí)潔凈室，斷面風(fēng)速采用0.35m/s，結(jié)果證明氣流組織合理。在項(xiàng)目設(shè)計(jì)、建設(shè)過(guò)程中，工程人員還引入了國(guó)際理念，在國(guó)內(nèi)首次采用《潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境》性能及合理性評(píng)價(jià)準(zhǔn)則，對(duì)潔凈室的全過(guò)程進(jìn)行控制，達(dá)到了預(yù)期效果。行業(yè)專家認(rèn)為，該項(xiàng)目潔凈室HVAC系統(tǒng)(MAU+FFU+DC)合理可行。經(jīng)美國(guó)專業(yè)公司采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，該項(xiàng)目潔凈室溫度、相對(duì)濕度、潔凈度、壓力梯度等潔凈室主要參數(shù)均達(dá)到TFT-LCD掩模版工藝生產(chǎn)要求。
中國(guó)潔凈室設(shè)計(jì)建造水平的掩模版制造考驗(yàn)
2007年11月28日，備受國(guó)內(nèi)外潔凈室建造界關(guān)注的“中國(guó)第一潔凈室”——— 清溢精密光電TFT掩模版項(xiàng)目正式竣工。這標(biāo)志著我國(guó)1級(jí)、10級(jí)潔凈室設(shè)計(jì)建造不能完全獨(dú)立完成的歷史的結(jié)束，充分展示了我國(guó)潔凈室建設(shè)的超高水平。該項(xiàng)目是第一家由國(guó)內(nèi)凈化公司獨(dú)立完成設(shè)計(jì)、施工的1級(jí)凈化項(xiàng)目，標(biāo)志著我國(guó)已擁有國(guó)際潔凈室設(shè)計(jì)建造的最先進(jìn)水平。 |
